在DUV光刻机方面,ASML的最新一代产品型号是NXT 2050i公开资料显示,ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证,并于第;来自雪球 · 上海 关注 前面预期的光刻机段子还没完,昨晚2050i这个只算其中之一。
主要包括NXT2100iNXT2050iNXT2000i和NXT1980Di,此次荷兰政府部分撤销出口许可证的两种型号DUV 光刻机 ,为其继NXT2000i之后推出的两种。
ASML DUV光刻机分为三种型号,分别为2050i2000i和1980i,前两种本身就是专为与EUV混合使用而设计的,经过多次曝光,可以生产7nm和5nm的芯;美国要求荷兰限制出口的主要设备是EUV光刻机以及DUV光刻机中的2000i和2050i型号,而不受限制的1980Di光刻机则可以自由出货根据消息,1980Di光。
NXT2050iNXT2100i ASML的意思是,他之前已经拿到了许可证的,许可证可以支持ASML在2023年之内,向中国大陆出售这4种型号的浸润式光刻机。
ASML公司官网信息显示,该公司主流的DUV光刻机产品共有三款设备TWINSCAN NXT1980Di,TWINSCAN NXT2000i和TWINSCAN NXT2050i,其中;ASML2050i及2100i光刻系统出口许可证已被部分撤销1月1日,ASML在官网发布声明称,其NXT2050i及NXT2100i光刻系统的出口许可证已被荷兰政府部。
为TWINSCAN NXT2050i,将于第四季度正式出货至于价格,这位官员没有宣布3600D的价格,但预计光刻机的价格将超过12亿美元,并将于2021年年。
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