其分辨率是38nm阿斯麦DUV光刻机2000i型号的分辨率和阿斯麦DUV光刻机1980Di型号是相同的，都是支持到38nm的最大分辨率它们都采用了相同的193nm的深紫光...

在DUV光刻机方面，ASML的最新一代产品型号是NXT 2050i公开资料显示，ASML于2020年第三季度对第一台TWINSCAN NXT 2050i进行了质量认证，并...