2013年雅帝乐斥巨资引进的德国KarlSuss卡尔休斯公司最先进的光刻机，采用德国全新LIGA精雕这一世界领导级技术打造而成的世界顶级铜门艾朗铜门是中西博大文化与现代科技相熔的结晶，是雅帝乐人传承千年铜制技艺的呕心之作。

光刻机品牌主要有ASML，尼康，佳能，欧泰克，上海微电子装备，SUSS，ABM， Inc。

生产线和研发用的低端光刻机为接近接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上主要有德国SUSS美国MYCRO NXQ4006以及中国品牌光刻机一般根据操作的简便性分为三种，手动半自动全自动A 手动指的是对准的调节方式，是通过手调旋钮。

现在光刻机品牌挺多，还要看你用于做科研，还是生产，量产的话配置要求高，性价比也不会多高，科研或小规模生产的话，高性价比的有SUSS，NXQ或一些韩国台湾品牌，我接触的一些高校实验室都用NXQ的。

我也碰到过，还有更奇怪的，操作键盘电路板坏了，重启也没有用，但过几天又好了。

龚里男，1962年1月出生，汉族，德国国籍1987年3月至1991年9月，在FraunhoferIISB从事科研工作1991年9月至1994年9月，Erlangen大学电子器件研究所从事科研和教学工作1994年10月至2002年2月，任德国SUSSMicroTec经理。

4Ultratech优必选Ultratech是一家位于美国的光刻机制造商，专注于高级制程和先进的光刻技术他们的产品在微纳加工和高分辨率领域有着广泛的应用5Suss MicroTec苏斯微技术苏斯微技术是一家总部位于德国的。