目前国内技术领先的光刻机研制厂家是上海微电子装备有限公司，可以稳定生产90nm制造工艺的光刻机，相比ASML的7nm制程差距还是比较大，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口同样正是SMEE推出90nm制程的光刻机后，ASML对中；但人为力量很快被摩尔定律的魔咒超越，在芯片晶体管数指数倍增长的背后，对光刻机的极端要求和全EDA化的领域难题，让芯片制造变成了一件既烧钱又烧脑，普通公司难以负荷的大麻烦 1984年，荷兰ASML公司成立，一直到今天，它依然是世界上唯一。

常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫MaskAlignmentSystem目前，世界上能制造光刻机的国家有荷兰日本德国和中国目前能制造高端光刻机的厂家有荷兰ASML，日本Nikon，日本Canon，以及上海微电子装备和德国的欧泰克。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干涂底旋涂光刻胶软烘对准曝光后烘显影硬烘激光刻蚀等工序光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此，世界上只有少数厂家掌握简单点来说，光刻机就是；一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干涂底旋涂光刻胶软烘对准曝光后烘显影硬烘激光刻蚀等工序光刻机的制造和维护需要高度的光学和电子工业基础，因此，世界上只有少数厂家掌握光刻机的品牌众多，根据；任何身份和资金，在严格EUV利益相关方的审查之下，都无可遁形因此，找海外代理人购买EUV极紫外光刻机，是一种得不偿失的做法我们都清楚EUV极紫外光刻机的生产厂家，是荷兰的ASML不过，ASML并不单单属于荷兰，它的。

2张江高科公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2016年投资了 上海微电子装备有限公司22，345万元，投资比例为10779% 3晶方科技公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参；目前全球能够制造和维护需要高度的光学和电子工业基础技术的厂家，全世界只有少数厂家掌握光刻机技术例如ASML尼康佳能欧泰克上海微电子装备SUSSABM，Inc等因此，光刻机的价格昂贵，通常在3千万到5亿美元中国。

公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发生产销售与服务，公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装MEMSTSV3DTFTOLED等制造领域目前我国的光刻机厂家正在快速发展中，虽落后西方国家一步，但。