位于我国上海的SMEE已研制出具有自主知识产权的投影式中端光刻机，形成产品系列初步实现海内外销售正在进行其他各系列产品的研发制作工作生产线和研发用的低端光刻机为接近接触式光刻机，分辨率通常在数微米以上主要有。

光刻机在印刷机的应用是通过激光来印刷这种极其微小精密而又产量极大的微型电路实际上光刻机需要在芯片生产的前后过程中都要用到，现在所说的光刻机，主要是指在最精密复杂的前段生产程序中用到的光刻机。

1紫外光刻机是利用一定波长的紫外光，通过掩模版使特定区域的光透过，从而辐照到光刻胶表面进行曝光2红外线光刻机能够用于设计平面与复杂3d结构等工件，用以实现计算机成像，是实现3d切割加工的核心设备。

刻蚀机就是在光刻完成以后才登场的设备，也是光刻完成以后最为重要的设备之一刻蚀机最主要的作用就是按照光刻机已经标注好的线去做基础建设，把不需要的地方给清除掉，只留下光刻过程中标注好的线路光刻机相当于画匠。

光刻机是制造芯片的必备设备芯片是干什么用的可能有人会嘲笑这个问题，说它太初级，太简单是的，有些人可能不知道芯片的用途，但世界上几乎每个人都在使用芯片这不是夸张，是事实芯片的用途手机高铁汽车。

1光刻机Mask Aligner 又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上2生产集成电路的简要步骤利用模版去除晶圆。