EUVL的反射式光学系统的反射面必须在镀制了高反射率光学薄膜后才能正常工作，反射率越高，则生产效率越高 三项成果获1979年全国科学大会奖专著红宝石激光器高能钕玻璃激光器11光刻机获上海市科学进步一等奖1986拉曼自由；另外包括目前生产手机芯片的光刻机，其中的光学模组也是有蔡司提供的 当然我们并不是说徕卡一无是处，因为我们也知道徕卡确实是曾经的胶片相机生产名厂，其镜头和机身的加工工艺在世界上可以说无出其右另外包括我们刚才提到的UR和M3。

要制造这样的光源，必须使用一种特殊的极紫外光这种光源，很难制造直到2015年的时候，ASML才研制出一台极紫外光刻机目前为止，也只有阿斯麦一家公司，能够生产极紫外光刻机2技术难点二光学镜头主要作用是调整。

光学科技 Optical尼康对光学科技的掌握包括了由光学玻璃至镜片的整个制造过程尼康所发展的 ED 超低色散 玻璃镜片， 大大改过了镜片聚焦的性能其他由尼康首创的包括使用在“绿色”人造卫星上的先进的可见光和近红外光；蔡司头更不用说，光从技术角度来说，镜头的高端工艺和高端技术都在副厂手里，你看看目前全世界最尖端的光学领域，都是卡尔蔡司 理光光学 腾龙光学在垄断，从制造CPU的光学步进光刻机，到显微镜领域，从树脂镜片与光学玻璃的。

光刻胶和玻璃同时被轰击，光刻胶被轰击完后，暴露出来的玻璃也被轰击，就把光刻胶上的图形转移到玻璃上实际上，光刻的方法和具体步骤相当复杂，对环境要求也非常高，以上只是基本步骤，让你大致了解而已。