他们每年投入的研发费用，几乎是某些世界500强企业的三个季度的收入3最后，我国的光刻机技术刚起步，仍然面临着许多难题需要攻克从目前我国在相关行业发展历史分析，只有上海微电子装备和合肥芯硕半导体有限公司在研究光刻。

摘要光刻机顾名思义就是“用光来雕刻的机器”，是芯片产业中宝贵且技术难度最大的机器光刻机的种类有哪些光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，有接触式曝光接近式曝光投影式曝光等光刻机光。

光刻机Mask Aligner 又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment SystemPhotolithography光刻 意思是用光来制作一个图形工艺在硅片表面匀胶，然后将掩模版。