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参以机器人光刻机三胎概念的上市公司有以下4个1京华激光，是一家专业从事激光全息模压制品制造销售及技术开发的国家高新技术企业位于浙江省绍兴市越城区中山路89号2上海电气，是一家大型综合性高端装备制造企业。

四年夜族激光 2020年6月17日公司在互动平台称公司在研光刻机项目辨别率35μm，主要聚焦在分立器件LED等领域的运用，本年有望实现小批量贩卖 五奥普光电 公司出产的CaF2晶体质料未用于光刻机物镜上 六。

SMEE光刻机研发成功的意义 上海微电子公司所研发的“SMEE光刻机”是一台性能堪比先进光刻机的制造设备，其光刻效果能够满足生产高质量的芯片这一研发的成功，也打破了美国市场对于中国光刻机的垄断，赢得了国内技术的独立与。