生产芯片最重要的设备是光刻机，世界上先进的光刻机主要由荷兰一家名为阿斯麦ASML的公司制造，市场占有率超过80%其中最先进的极紫外光刻机EUV光刻，全世界只有ASML一家公司能制造ASML虽然是一家荷兰的公司，但。

EUVExtreme Ultraviolet光刻机是一种用于制造高端芯片的先进设备与传统光刻机不同的是，EUV光刻机使用的是极紫外光源，具有更短的波长和更高的分辨率，能够制造尺寸更小的芯片，如5nm芯片2 EUV光刻技术的优点 与。

通常情况下，为了追求更小的纳米工艺，光刻机厂商的解决方案是，使用波长越来越短的光源ASML就是这种思路现在国外使用最广泛的光刻机的光源为193纳米波长深紫外激光，光刻分辨力只有38纳米，约027倍曝光波长这台国产。