在ASML公布的今年一季度财报中，EXE5200已经订出去不止一台按计划，第一台原型试做机2023年开放，预计由imec比利时微电子研究中心装机，2025年后量产，第一台预计交付Intel实际上，ASML的EUV光刻机非常庞大，现售的0。

美专家之所以这么说，主要还是因为有以下几方面的原因光刻机技术加速突破 首先，ASML公司在相关规则的限制下，一直都无法自由出货，这将严重的影响ASML公司在全球光刻机市场上的发展，这也将直接倒逼着大家都开始加速研发光。

大家都了解，现阶段在芯片行业的有关技术上，我们国家就是卡在了那一台顶尖的光刻机设备上，欧美国家对于该设备的技术一直都是防备有加，现阶段都还没哪一个国家可以独自造出光刻机，表面上是由荷兰的ASML企业生产制造的。

目前，一台光刻机的成本高达上亿美元，而一台光刻机一年的产能最多只有几台，光刻机是目前世界上最尖端的设备技术之一，而一台7纳米的光刻机价格非常昂贵，价格高达12亿美元，甚至12亿美元的光刻机，也是供不应求。

5nm激光光刻技术，预示着我们即将能取代ASML，但是5nm激光光刻技术还未安全成熟，因此还是要用ASML技术。