光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种有用于生产芯片的光刻机有用于封装的光刻机还有用于LED制造领域的投影光刻机；光刻机有很多种类型，但有时也很难用类型进行分类来区别设备，因为有些分类仅是在某一分类下的分类 19700101 080000 至19700101 080000。

光刻机主要分为两类DUV深紫外线光刻机和EUV及紫外线光刻机 DUV深紫外线光刻机，紫外光源的波长KrF准分子激光248nm，ArF准分子激光193nm。

光刻机有几个型号

Scanner通常比其他曝光机具有更高的生产效率，设计和制造都非常复杂，Scanner的购买和维护成本都很高 UV光刻机的类型大致就这几种，今天只讲个。

光刻机的价格一览表

光刻机 ，是制造芯片的机器，要是没有了 光刻机 ，我们就没有办法造出芯片，自然也就 用途 光刻机 是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好 几种。

光刻机紫外曝光机Mask Aligner 又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等常用的光刻机是掩膜对准光刻，所以叫 Mask Alignment System 一般的。

光刻机就是把芯片制作所需要的线路与功能区做出来利用光刻机发出的光通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化。

光刻机的分类描述由安徽智微科技有限公司发布，详细内容为光刻机的分类描述光刻机MaskAligner又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。