科益虹源公司华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域，入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司北京科益虹源光电技术公司注册资金从12亿元增加到202亿元，增长68%，投资中哈勃投资占股476%，成为第七大股东。