纳米光刻机龙头股包括ASML Holding NVASMLCanon Inc佳能和Nikon Corporation尼康等1 ASML Holding NVASMLASML是全球最大的半导体光刻机制造商，拥有先进的纳米光刻技术在半导体行业迅速发展的背景下。

制造芯片的三大设备光刻机蚀刻机和薄膜沉积，国内仅中微半导体的介质蚀刻机能跟上行业节奏，其7纳米设备已入围台积电名单 北方华创在氧化炉和薄膜沉积设备上成绩不俗，但基本还处于28纳米级别其他设备，如离子注入机抛光机和清洗机。