随后又在8月发布了跟进报道，确认了7nm技术节点属实，并且工艺和台积电的7nm工艺有相似性值得一提的是中芯的7nm制程使用的是DUV光刻机深紫外光7nm也是DUV能维持高...

1、3 对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度4 曝光方式分为接触接近式投影式和直写式5 曝光光源波长分为紫外深紫外和极紫外区域，光源有汞灯，准分子激光器等以上就是给各...