5纳米5nm光刻机的原意应该是可以实现5纳米制程的光刻机，是EUV极紫外线光刻机EUV使用了135纳米的极紫外线激光源，比193纳米深紫外线光源的DUV光刻机能力更强纳米...

光刻机本身就是综合了物理数学化学等诸多领域的高精尖领域，里面本身采用的光源也是激光，但不仅仅是激光的应用，还涉及到更多的交叉学科。 光刻机采用激光将图形刻印在半导体上，但...