光刻机是是制造芯片的核心装备光刻机也可以称为掩模对准曝光机曝光系统或光刻系统等它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上光刻机的种类可分为接...