国产光刻机，已经取得重大突破光刻机又叫掩模对准曝光机曝光系统光刻系统等，是制造芯片的核心装备，光刻，也被称为光学平版刻法或紫外光刻，是一种在薄膜或基板也被称为晶圆上对零件...