降低光刻机投影最小尺寸采用缩短曝光光源波长和增大投影物镜数值孔径两种方法1通过物镜组来实现，通过纯水把波长降低到134纳米2通过物镜组就可达到90纳米65纳米45纳米28...

1、一用途 光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种有用于生产芯片的光刻机有用于封装的光刻机还有用于LED制造领域的投影光刻机用于生产芯片的光刻机是中国在半...

1、基恩士直销无代理，3D轮廓测量相关技术指南免费下载，样机演示测试，详情点击咨询1秒准确测量形状，起伏，粗糙度只需一台即可满足各类形状测量需求。 2、激光雕刻机专门从事...