光刻胶在光的作用下发生化学或物理变化，形成图案的显影图像接下来，通过化学腐蚀或蚀刻等工艺步骤，将光刻胶图案转移到半导体材料上，并最终形成微电子器件的结构光刻机具有高精度高...