在ASML公布的今年一季度财报中，EXE5200已经订出去不止一台按计划，第一台原型试做机2023年开放，预计由imec比利时微电子研究中心装机，2025年后量产，第一台...

euv和duv相比，euv更先进EUV光刻技术与DUV光刻技术相比较，除了制造成品尺寸的重要不同之外，还考虑到了成本效率和可持续性等方面的因素因此，EUV光刻技术比DUV...