2，中微是目前国内自主生产蚀刻机最好的企业，其蚀刻机是16nm标准，其产品台积电等企业都在列装，5nm蚀刻机年底出产只是央视报道，具体如何还要看企业计划3，上微是目前国内...

能制造高端光刻机的只有荷兰ASML镜头来自德国，日本Nikonintel曾经购买过Nikon的高端光刻机和日本Canon三大品牌为主高端光刻机号称世界上最精密的仪器，世界...

该光刻机在365纳米光源波长下，单次曝光最高线宽分辨力达到22纳米结合双重曝光技术后，未来还可用于制造10nm级别的芯片 中国的刻蚀机的确是达到了世界先进水平，光刻机还早...