近日，上海微电子正式发布新一代大视场高分辨率先进封装光刻机，首台产品将于今年年内交付根据智慧芽数据显示，上海微电子于2018年12月提交了。 上海微电子专利申请通过，7n...

新一代光刻机相比之前的设备肯定各方面都会更先进，关于新一代EUV光刻机的性能参数，阿斯麦公司并未透露太多，阿斯麦公司制造新一代光刻机肯定会在制造的良率工艺水平等方面都会有...