在ASML公布的今年一季度财报中，EXE5200已经订出去不止一台按计划，第一台原型试做机2023年开放，预计由imec比利时微电子研究中心装机，2025年后量产，第一台...

简单来说，把ASML的EUV光刻机比作精密跑步机，可以在原地就能跑步，那么我们的光刻工厂方案，就是要发挥基建狂魔优势，建造一个圆形操场，直接实现跑起来据相关分析表示，被称...