上海微电子 上海微电子目前已经量产最先进的SSA60020系列光刻机，依旧采用的是193nmArF光源技术，可用于低端的90nm芯片，更重要的是上海微电子的光刻机设备掌握...

1、因此，可以明确地说，上海微电子前道光刻机进入燕东公司的产线是真实的。 2、国内光刻机排名第一公司是上海微电子目前全球只有四家能够制造光刻机的公司，分别是荷兰阿斯麦尔日...