1、1气垫运输，光刻机运输中需要保证全程加气垫，避免因为震动而使内部遭到破坏2真空木箱打包，因为光刻机运输要保持全程恒温恒压，所以要使用真空木箱打包技术3恒温气垫车运输，...

光刻机发出的光用于通过带有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光光刻电阻的特性在看到光后会发生变化，从而使掩模中的图形可以复制到薄片上，使薄片具有电子电路图的功能这是光刻的功能...