2国内目前做光刻机的主要有上海微电子装备有限公司中子科技集团公司第四十五研究所国电合肥芯硕半导体有限公司先腾光电科技无锡影速半导体科技其中，上海微电子装备有限公司已经量产...

个零件，其中许多零件非常复杂；要知道华为缺芯事件就是美国从中作梗，更不可能让国内公司轻易购买到高端光刻机来自主造芯尽管ASML公司也是通过在全球各地采购相应精良的零部件来...