根据查询中关村官网显示，传统光刻机工作原理首先由光刻设备投射的光源通过带有图案的掩模投射出来，经过透镜镜子将图案聚焦在晶圆上而投放出来，投影仪成像原理是先将光线照射到图像...

1个回答 回答时间 2023年9月21日光刻机工作原理光刻机通过一系列的光源能量形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误更多关于光刻机成像原理的问...