经过十几年潜心研发，我国已基本掌握了高端光刻机的集成技术，并部分掌握了核心部件的制造技术国家光电实验室首次实现 9nm。 光刻机就像印钞机，材料成本可以忽略不计，而时间就...

Digital Micromirror Device而无需传统硬掩模版来进行光刻的激光直写光刻机，大大提高了光刻效率，节省光刻成本及时间桌面式小型台式无掩模光刻机占地面积...