为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了LED照明对准系统共有两套，具备调焦功能主要就是由双目双视场对准显微镜主体目镜和物镜各1对光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜...

你们要光刻机是用于科研，小规模生产的SUSS，MYCRO NXQ的，或者ABM的都挺好的，SUSS光刻机很好，只是价格太贵，我认识的一些物理实验室用MYCRO NXQ的；...